超精密加工技术
采用目前制造领域最高精度的超精密数控机床,利用天然单晶金刚石刀具,可实现三维复杂曲面的超精密一次成型加工,精度高、稳定性好,表面粗糙度高达3nm,可对铝、铜、镍、金、锗、硒化锌、硫化锌、树脂(如PMMA)等材料进行加工,具备制造各种平面反射镜、球面反射镜、凹/凸非球面反射镜、离轴非球面反射镜、非球面阵列反射镜、菲涅尔反射镜,微沟槽阵列和多面棱镜等各种超精密核心关键件,以及各种尺寸的光学玻璃模压和注塑用模具的加工能力。
应用范围:
1、可对铝、铜、镍、金、高分子材料(如:PMMA)、WC等材料进行超精密加工,也可对锗、硒化锌、硫化锌、SiC等脆性材料进行纳米量级切削;
2、可用来制造航空航天精密轴承、曲面镜等核心关键件;
3、可用于制造微电子领域极紫外光刻装备所需的离轴非球面物镜等核心关键件;
4、可用于制造激光、红外光学系统的双锥透镜、光束整形组合反射镜等;
5、可用于制造光学透镜、反射镜、棱镜、相位板和光学模具;
6、可对平面、球面及非球面等进行超精密加工;
7、通过有效手段可以实现WC等硬材料加工。
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